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7.CMP拋光用陶瓷載盤
我司可提各種規格的供用于化學機械拋光用的陶瓷載盤。 該載盤可以用于拋光3, 4, 5, 6英寸的晶圓。并且有著較好的平坦度的平行度,材料結合精密且有著均一的微觀結構。
特性:
熱傳導性好
平坦度高且無變形
無空洞,劃痕和裂紋
直徑
平坦度
D410mm
2μm
D360mm
D305mm
地址:河南省鄭州市鄭東新區地潤路18號建業總部港A座 電話:0371-67617777傳真:0371-67627777郵編:450018郵箱:info@sinomach-int.com網站:www.qhzangao.com
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